设计总流量：1200m3/h（实用800m3/h）
极限真空度：0.1mbar　电机总功率：27KW
工艺真空泵站是用于电子产品生产工艺中真空卡具所需要的负压气体的产生，用两台 VC400 油式真空泵配以一个容积为 2 立方米的不锈钢真空储气罐构成。采用 PLC 控制回路结合真空度的自动检测，来控制真空泵的顺序启动和停止